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多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
發布時間： 2022-04-26 點擊次數： 1465次多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
測量示例
可以測量從半導體等精密加工產品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。
F3-CS桌面式膜厚測量系統
F3-CS 是測量小樣品的測量系統。與測量臺集成的測量系統使其易于攜帶。
只需將樣品的測量面朝下放在載物臺上即可進行測量，大約1秒即可測量膜厚和折射率。主要特點
緊湊的尺寸
輕松連接，僅 USB 連接
光學常數分析（折射率/消光系數）
主要用途
光學鍍膜 硬涂層、防滴膜等 平板 有機膜等 產品陣容
模型 F3-CS-UV F3-CS F3-CS-近紅外 測量波長范圍 190 – 1100nm 380 – 1050nm 950 – 1700nm 膜厚測量范圍
3nm – 40μm 15nm – 70μm 100nm – 250μm 準確性* ± 0.2% 薄膜厚度 ± 0.4% 薄膜厚度 1納米 2納米 3納米 *取決于樣品和測量條件
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