小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）技術(shù)解析及應(yīng)用前景

摘要：
小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）是一種適用于MBE等超高真空設(shè)備的先進(jìn)束源。本文將介紹其特點(diǎn)和設(shè)備規(guī)格，并重點(diǎn)探討其在MBE設(shè)備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等應(yīng)用領(lǐng)域的潛力。

介紹：
ERS-35采用了電子回旋共振放電技術(shù)，可在超高真空環(huán)境下提供穩(wěn)定的原子束或自由基束，廣泛應(yīng)用于分子束外延（MBE）和其他超高真空設(shè)備中。其具備以下特點(diǎn)：

1. wanquan金屬密封：ERS-35與超高真空設(shè)備兼容，采用wanquan金屬密封設(shè)計(jì)，確保在真空環(huán)境中穩(wěn)定工作，避免任何氣體泄漏和污染。

2. 易于操作的同軸電纜電源：ERS-35配備了易于操作的同軸電纜電源，簡(jiǎn)化了功率供應(yīng)的連接和控制，提高了設(shè)備的可操作性和穩(wěn)定性。

3. 無(wú)金屬污染的介電襯里：為了確保高純度的束流輸出，ERS-35采用無(wú)金屬污染的介電襯里，有效減少了雜質(zhì)的產(chǎn)生和污染的風(fēng)險(xiǎn)。

4. 帶偏壓電極的介電引出柵：ERS-35的介電引出柵設(shè)計(jì)了帶偏壓電極，擅長(zhǎng)產(chǎn)生自由基束。這種設(shè)計(jì)允許束源輸出具有高度定向性和可調(diào)控性的自由基束。

設(shè)備規(guī)格：

• 連接真空端口標(biāo)準(zhǔn)：ICF70，與常見的超高真空設(shè)備接口標(biāo)準(zhǔn)兼容。

• 同軸連接器標(biāo)準(zhǔn)：N型，便于與其他設(shè)備進(jìn)行連接和集成。

• 適用微波頻率：2.45GHz，與常用工業(yè)微波設(shè)備兼容。

• 允許微波功率：最大100W，提供充足的能量供應(yīng)。

• 冷卻方式：水冷，確保設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中保持合適的溫度。

應(yīng)用實(shí)例：

1. MBE設(shè)備用氮/氧自由基源：ERS-35能夠產(chǎn)生穩(wěn)定而高純度的氮或氧自由基束，可用于分子束外延（MBE）中的材料沉積和氣相外延生長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)精確的薄膜和納米結(jié)構(gòu)的控制。

2. 表面清洗用原子氫源：ERS-35的原子束輸出適用于表面清洗和表面修飾應(yīng)用。氫原子束可以高效地清除表面的雜質(zhì)和氧化物，并恢復(fù)材料的純凈度和特性。

結(jié)論：
小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）通過(guò)其wanquan金屬密封、易操作的同軸電纜電源和帶偏壓電極的介電引出柵等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于MBE設(shè)備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等領(lǐng)域。隨著技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，ERS-35將為超高真空設(shè)備的研究和應(yīng)用提供更多創(chuàng)新的可能性。