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    日本HORIBA堀場隔膜式真空計VG-200S:高精度真空測量

    發(fā)布時間: 2025-10-13  點擊次數: 19次
    在現(xiàn)代工業(yè)生產中,精確的壓力測量對于許多工藝流程至關重要,尤其是在真空環(huán)境下的應用。日本HORIBA堀場推出的隔膜式真空計VG-200S,以其高精度、高穩(wěn)定性和緊湊設計,成為眾多行業(yè)的理想選擇。

    一、VG-200S的核心技術與特點

    (一)電容式測量原理

    VG-200S采用電容式測量原理,通過檢測膜片兩側壓力差引起的位移量來測量壓力。這種原理使得VG-200S在測量精度和穩(wěn)定性上表現(xiàn)出色,同時對氣體類型具有獨立性,不受氣體種類影響。

    (二)高精度與高穩(wěn)定性

    VG-200S的測量精度包括非線性、滯后性和不可重復性在內的總誤差為0.25%R.S.,分辨率達到0.01%F.S。其獨特的電極結構和自動溫度控制功能,確保了在不同環(huán)境下的穩(wěn)定性能。

    (三)緊湊設計與自動溫度控制

    VG-200S具有緊湊的自加熱設計,尺寸小巧,便于安裝和使用。自動溫度控制功能使其能夠在不同環(huán)境溫度下保持穩(wěn)定的測量性能,這對于一些對溫度敏感的應用尤為重要。

    (四)耐腐蝕性與耐用性

    VG-200S的隔膜等氣體接觸部件采用SUS316L材質,具有良好的耐腐蝕性,能夠在苛刻的工業(yè)環(huán)境中長期穩(wěn)定運行。

    (五)一鍵歸零與用戶友好性

    VG-200S配備一鍵歸零功能,簡化了操作流程,提高了使用的便捷性。此外,其電源要求為±15VDC或24VDC,兼容性強,符合CE和RoHS標準。

    二、VG-200S的應用領域

    (一)半導體制造

    在半導體制造過程中,精確的壓力控制對于保證產品質量至關重要。VG-200S的高精度和穩(wěn)定性使其成為半導體制造中真空工藝的理想選擇。

    (二)平板顯示器與光伏面板

    在平板顯示器和光伏面板的生產中,VG-200S能夠精確測量工藝腔室內的氣體壓力,確保生產過程的順利進行。

    (三)真空技術

    在真空鍍膜、真空冶金等真空技術領域,VG-200S的高精度和高穩(wěn)定性為工藝的精確控制提供了堅實的保障。

    (四)化工行業(yè)

    化工生產中常常涉及各種腐蝕性介質,VG-200S的耐腐蝕性能使其能夠有效抵御化學腐蝕,延長設備使用壽命,同時提供可靠的壓力測量數據。

    三、總結

    日本HORIBA堀場的隔膜式真空計VG-200S以其高精度、高穩(wěn)定性、緊湊設計和良好的耐腐蝕性,成為現(xiàn)代工業(yè)中真空壓力測量的可靠選擇。無論是在半導體制造、平板顯示器、光伏面板生產還是化工和真空技術領域,VG-200S都能為工藝控制和質量保證提供有力支持。


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