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電子元件氧氣計-日本TORAY氧化鋯式氧氣計產品介紹
發布時間： 2021-08-24 點擊次數： 1066次電子元件氧氣計-日本TORAY氧化鋯式氧氣計產品介紹
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
氧氣計 MS-500
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從 ppm 級到 99% 的各種濃度。
適合安裝在半導體制造設備、真空設備等上。
傳感器為直插式（NW 法蘭用于真空 16/25/40）
高度耐用的傳感器采用特殊涂層，以進一步提高耐用性。
MS-500 設備規格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 分離式（轉換器：壁掛式，傳感器：直插式） 顯示方式 數字4位顯示（濃度顯示） 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
自動量程重復性 在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內或更多
± 1% FS 或更少或 ±
0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍測量點數 1-8 樣氣條件 壓力 10 -3～ 200 KPa（絕壓） 流量 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然擴散狀態的測量） 濕度 露點低于環境溫度 溫度 0-100℃ 其他 不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 比較氣體 氣氛 錄音機輸出 僅傳輸輸出 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 沒有 預熱時間 6分鐘內 尺寸 MS-500（控制器） 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分） MS-510（轉換器） 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分） 傳感器單元 SD16NW 全長100mm（感應部分Φ11×39，本體部分Φ40×51） SD25NW 全長100mm（感應部分Φ11×42，本體部分Φ40×48） SD40NW 全長100mm（感應部分Φ11×41，本體部分Φ40×49） 質量 MS-500（控制器） 約0.6Kg MS-510（換能器） 約0.5kg 傳感器單元 SD16NW 約0.2Kg SD25NW 約0.2Kg SD40NW 約0.35Kg 外部連接 真空法蘭之一（NW16、25、40） 使用的電源 24VDC ± 10% 氧氣計LC-450A、LC-450D
可以顯示從測量的ppm 水平到 99% 的廣泛濃度范圍。提高傳感器的耐用性
氧傳感器經過特殊處理以提高其耐用性。交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
* LC-450D由24V DC驅動緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統型號更短，并且不占用太多空間。符合 RoHS 指令的產品
CE標志自我聲明產品
EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003
LC-450A 設備規格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 桌面型/面板安裝型 顯示方式 數字4位顯示（濃度顯示） 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程 重復性 ± 1% FS 0-1ppm內，atm范圍超出保證濃度范圍 抽樣方法 內置泵連續吸入型 樣氣條件 壓力 加壓30KPa以下 流量 1,000-2,000 毫升/分鐘 濕度 露點低于環境溫度 溫度 0-50℃ 其他 不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 比較氣體 氣氛 錄音機
輸出氧氣濃度輸出 在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換（可選 0-10V） 絕緣，負載電阻 550Ω 或更少
記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧氣濃度輸出范圍 0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 FAIL（設備錯誤） 1分 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
因設備異常接點閉合（接點動作可變更）ALM（濃度報警） 2 分（高 / 高） 無電壓接點，接點容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下，
發生報警時接點閉合（接點動作可變更）RDY（預熱信號） 1分 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 無電壓接點的最小開關容量為12V以上，無法處理微小負載。
MRK（范圍標記）輸出 2分 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 預熱時間 5分鐘內 尺寸 身體 210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm（不包括突出部分） 質量 約6kg 氣體
連接口入口 RC1 / 4 旁路輸出 RC1 / 4 奧特萊斯 RC1 / 4 使用的電源 100-240VAC, 50VA (穩定: 35VA) 50Hz / 60Hz LC-450D 設備規格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 桌面型/面板安裝型 顯示方式 數字4位顯示（濃度顯示） 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程 重復性 ± 1% FS 0-1ppm內，atm范圍超出保證濃度范圍 抽樣方法 內置泵連續吸入型 樣氣條件 壓力 加壓30KPa以下 流量 ~ 1,500L/分鐘 濕度 露點低于環境溫度 溫度 0-50℃ 其他 不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 比較氣體 氣氛 錄音機
輸出氧氣濃度輸出 0-10VDC，絕緣，負載電阻600kΩ或多個
（可選：4-20mA的DC，絕緣，負載電阻550Ω或更小）
記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度輸出范圍 0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 FAIL（設備錯誤） 1分 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
因設備異常接點閉合（接點動作可變更）ALM（濃度報警） 2 分 (L / LL) 無電壓接點，接點容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下，
發生報警時接點閉合（接點動作可變更）RDY（預熱信號） 1分 無電壓接點，接點容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下
預熱運行時接點閉合（接點動作可變更）無電壓接點的最小開關容量為12V或20mA以上，無法處理微小負載。
MRK（范圍標記）輸出 2分 無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 預熱時間 5分鐘內 尺寸 身體 240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm（不包括突出部分） 質量 約5公斤 氣體
連接口入口 RC1 / 8 旁路輸出 RC1 / 8 奧特萊斯 RC1 / 8 使用的電源 24VDC ± 10%，1.25A（30VA，穩態） 氧氣計LC-860
低濃度測量 可測量從
ppb級到99%操作簡單
按鍵操作簡單吹掃功能
比較 氣體更穩定，測量精度更高（帶吹掃功能的規格）。高可靠性傳感器 傳感器
內部也可進行劣化防止處理（可選）
LC-860 設備規格
測量原理 氧化鋯濃縮電池供電 形狀 桌面型/面板安裝型 顯示方式 數字6位顯示（濃度顯示） 測量范圍 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
自動/固定量程重復性
氧濃度在±1%FS以內，小于1ppm和0-1ppm，atm范圍在保證濃度范圍之外抽樣方法 內置泵連續吸入型 樣氣條件 壓力 加壓30KPa以下 流量 ~ 1,500 毫升/分鐘 濕度 露點低于環境溫度 溫度 0-50℃ 其他 不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 比較氣體 氣氛 錄音機
輸出氧氣濃度輸出 4-20mA / 0-10V 4-20mA
: 絕緣，負載電阻 600Ω 或更小
0-10V: 絕緣，負載電阻 500Ω 或更大
記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧濃度輸出范圍 0-99%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0 或任何4個范圍的自動/固定范圍 傳輸輸出 RS-232C 報警輸出 FAIL（設備錯誤） 1分 無電壓接點，接點容量24VDC/AC以下，0.1A以下
因設備異常接點閉合（接點動作可變更）ALM（濃度報警） 2分 無電壓接點，接點容量 24VDC/AC 以下，0.1A 以下，
發生報警時接點閉合（接點動作可變更）RDY（預熱信號） 1分 無電壓接點，接點容量 24VDC/AC 以下，0.5A 以下
預熱動作時接點閉合（接點動作可變更）無電壓觸點的最小開關容量為12V以上，無法處理微小負載。
MRK（范圍標記）輸出 3分 無電壓接點，接點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 預熱時間 20分鐘內 尺寸 身體 288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm（不包括突出部分） 質量 約10公斤 氣體
連接口入口 RC1 / 8 旁路輸出 RC1 / 8 奧特萊斯 RC1 / 4 使用的電源 100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz
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