日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
- 高過濾精度
在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說，管道系統的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器，從而實現了具有長久穩定狀態的0.003μm的高過濾精度。 - 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性
在追求高選擇性的過程中，極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態下進行烘烤。從該觀點出發研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。 - 零維護實現成本削減
能夠根據粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結構，因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現故障。所以不會因生產線暫時中斷而帶來經濟損失，并可長期持續地削減成本。
| 過濾精度 | 0.003μm（但是，純水過濾時は0.1μm） | |
|---|---|---|
| 推薦流量 | 10～200?/min（各型號區別：參考流量特性曲線) | |
| 設計壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產品全部經過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據日本國內的高壓氣體保安法，使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關于1MPa以上的高壓煤氣認定品，請詢問我們。 |
| 常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
| 容許差壓 | 9.6MPa (1,392PSIG) at20℃ | |
| 連續使用溫度 | 120℃ | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
| 構成材料 | 外罩：SUS316L 內表面粗糙度：Rmax0.7μm以下 元素：氧化鋁陶瓷(Al2O3) 密封圈：PTFE | |
| 連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它 | |
