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    銷(xiāo)售熱線

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    日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴(kuò)散率檢測(cè)TM3

    日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴(kuò)散率檢測(cè)TM3

    更新日期:2024-05-14

    訪問(wèn)量:1932

    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

    生產(chǎn)地址:

    簡(jiǎn)要描述:
    日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴(kuò)散率檢測(cè)TM3
    它是世界上一個(gè)能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸和高分辨率測(cè)量的設(shè)備。
    3 μm的檢測(cè)光斑直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率熱物理特性測(cè)量(點(diǎn)/線/面測(cè)量)。

    日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴(kuò)散率檢測(cè)TM3

    特征

    • 熱物理特性顯微鏡是一種測(cè)量熱擴(kuò)散率的設(shè)備,熱擴(kuò)散率是熱物理特性值之一。

    • 它是一種可以用點(diǎn)、線和面測(cè)量樣品的熱特性的設(shè)備。

    • 還可以測(cè)量微米量級(jí)的熱物理特性分布,這在傳統(tǒng)的熱物理特性測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。

    • 它是世界上一個(gè)能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸和高分辨率測(cè)量的設(shè)備。

    • 3 μm的檢測(cè)光斑直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率熱物理特性測(cè)量(點(diǎn)/線/面測(cè)量)。

    • 由于可以通過(guò)改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量,因此可以從薄膜/多層膜到塊狀材料進(jìn)行測(cè)量。

    • 您還可以測(cè)量基板上的樣品。

    • 使用激光進(jìn)行非接觸式測(cè)量。

    • 可以檢測(cè)薄膜下的裂紋、空隙和剝落。

    熱物理顯微鏡測(cè)量原理(概述)

    在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光定期加熱。

    1. 由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的特性(熱解法),因此通過(guò)捕捉與加熱激光同軸照射的檢測(cè)激光的反射強(qiáng)度變化來(lái)測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。做。

    2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱特性。通過(guò)測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來(lái)獲得熱擴(kuò)散率。


    熱物理顯微鏡測(cè)量原理(概述)
    日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴(kuò)散率檢測(cè)TM3


    主要規(guī)格

    名稱/產(chǎn)品名稱熱物理顯微鏡/熱顯微鏡
    測(cè)量模式熱物性分布測(cè)量(1D、2D、1點(diǎn))
    測(cè)量項(xiàng)目熱擴(kuò)散率,(熱擴(kuò)散率),(熱導(dǎo)率)
    檢測(cè)光斑直徑約 3 μm
    1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間10 秒
    待測(cè)薄膜厚度從幾百納米到幾十微米
    重復(fù)精度Pyrex 和硅的熱擴(kuò)散率小于 ± 10%
    樣本1. 樣品架 30 mm x 30 mm 厚度 5 mm
    2. 板狀樣品 30 mm x 30 mm 或更小且 3 mm 或更小
    • 需要對(duì)樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。

    • 樣品表面需要濺射鉬。

    工作溫度限制24°C±1°C(根據(jù)設(shè)備內(nèi)置的溫度傳感器)
    舞臺(tái)移動(dòng)距離? X 軸方向 20mm
    ? Y 軸方向 20mm
    ? Z 軸方向 10mm
    加熱用激光半導(dǎo)體激光波長(zhǎng):808nm
    檢測(cè)用激光半導(dǎo)體激光波長(zhǎng):658nm
    電源交流 100V 1.5kVA
    標(biāo)準(zhǔn)配件樣品架,參考樣品
    選項(xiàng)光學(xué)平臺(tái)、空調(diào)、空調(diào)房、濺射設(shè)備



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